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        MEMS可燃氣體和VOC氣體傳感器

            納格公司將厚膜印刷技術和MEMS技術相結合成功開發出懸臂梁式微熱板,該微熱板能夠承受1000℃的高溫,具有很強的穩健性;诖宋岚彘_發出的可燃氣體傳感器,響應時間在5s以內,可燃氣體傳感器功耗小于250mW,VOC氣體傳感器功耗小于200mW,并且采用補償元件,傳感器輸出參數不受環境溫濕度變化的影響。

         

                    MEMS可燃氣體傳感器                      MEMS VOC氣體傳感器




                                   MEMS可燃氣體傳感器對不同體積濃度甲烷的響應曲線
         
         
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