納格公司在厚膜印刷與微納米加工技術方面已積累豐富經驗,可以提供對外委托加工服務。 厚膜印刷方面,我們可以印刷不同線寬的金、銀、鉑等導電線條或者圖案,最細可以印刷出40um寬的導電線條;可以印刷不同方阻的二氧化釕漿料以及保護介質層。 在微納加工方面,我們在光刻、刻蝕、鍍膜方面有著豐富經驗,可以提供不同深寬比的SU-8膠光刻能力,可以提供二氧化硅和單晶硅不同深度刻蝕能力,可以用PECVD生長不同厚度的氧化硅膜。 同時,我們還提供厚膜印刷和微納加工相結合的加工能力,目前已經成功將厚膜印刷和微納加工相結合,制備出6英寸MEMS微熱板晶圓。 厚膜印刷陶瓷加熱片 SU8高深寬比線條 厚膜印刷熱電偶 六英寸MEMS微熱板晶圓