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        厚膜印刷及微納米加工服務


            納格公司在厚膜印刷與微納米加工技術方面已積累豐富經驗,可以提供對外委托加工服務。

            厚膜印刷方面,我們可以印刷不同線寬的金、銀、鉑等導電線條或者圖案,最細可以印刷出40um寬的導電線條;可以印刷不同方阻的二氧化釕漿料以及保護介質層。

            在微納加工方面,我們在光刻、刻蝕、鍍膜方面有著豐富經驗,可以提供不同深寬比的SU-8膠光刻能力,可以提供二氧化硅和單晶硅不同深度刻蝕能力,可以用PECVD生長不同厚度的氧化硅膜。

            同時,我們還提供厚膜印刷和微納加工相結合的加工能力,目前已經成功將厚膜印刷和微納加工相結合,制備出6英寸MEMS微熱板晶圓。

           

               厚膜印刷陶瓷加熱片                         SU8高深寬比線條

                        
         
                     厚膜印刷熱電偶                     六英寸MEMS微熱板晶圓

         
         
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